Was ist ALE (Atomlagenätzen)?
Ätzen durch abwechselnde Oberflächenmodifikation und Abtrag, sodass jeder Zyklus etwa eine Atomlage entfernt. Es ermöglicht extrem präzise Kontrolle der Ätztiefe.
Japanische Bezeichnung: ALE(原子層エッチング)
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen