Was ist Anisotropes Ätzen?
Ätzen, das nur in eine bestimmte Richtung (hauptsächlich vertikal) fortschreitet. Erforderlich zur Strukturierung feiner Merkmale.
Japanische Bezeichnung: 異方性エッチング
Fachgebiet: Ätzen
Vergleiche mit diesem Begriff
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen