Was ist Antenneneffekt?

Schädigung eines Gateoxids, wenn ein angeschlossener Leiter, etwa eine lange Leitung, beim Plasmaprozess wie eine Antenne Ladung sammelt. Entwurfsregeln begrenzen das Flächenverhältnis solcher Leitungen, um das zu verhindern.

Japanische Bezeichnung: アンテナ効果

Fachgebiet: Ätzen