Was ist Aspektverhältnis?
Verhältnis von Tiefe zu Breite eines Lochs oder Grabens. Höhere Verhältnisse erschweren Ätzen und Abscheiden; Speicherlöcher in 3D-NAND erreichen mehrere Dutzend oder mehr.
Japanische Bezeichnung: アスペクト比
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen