Ätzen
Lernen Sie anhand von Multiple-Choice-Fragen die Grundlagen des Ätzens kennen – anisotropes Ätzen, Selektivität und die Unterschiede zwischen Nass- und Trockenätzen.
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Die Fragen zu diesem Thema folgen in Kürze.
Ätzen: Das Wichtigste
Beim Ätzen werden die nicht durch eine Maske wie Fotolack bedeckten Teile einer Schicht entfernt, um Strukturen zu bilden. Es gibt Nassätzen mit chemischen Lösungen und Trockenätzen mit Plasma und ähnlichen Mitteln.
Um feine Strukturen präzise zu bearbeiten, sind Anisotropie (Ätzen nur in vertikaler Richtung) und Selektivität (Ätzen nur der Zielschicht) wichtig. Das reaktive Ionenätzen (RIE) ist ein repräsentatives Verfahren.