Was ist Hartmaske (Hard Mask)?
Widerstandsfähige Maske aus Nitrid, Kohlenstoff, Metall o. Ä., die verwendet wird, wenn Photoresist allein den Ätzprozess nicht übersteht, z. B. beim Tieflochätzen.
Japanische Bezeichnung: ハードマスク
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen