Was ist Vakuumaufdampfen?

Schichtbildung, indem ein Material im Vakuum bis zum Verdampfen erhitzt wird und auf dem Substrat kondensiert. Elektronenstrahlheizung beherrscht Materialien mit hohem Schmelzpunkt, doch die Kantenbedeckung ist schlecht.

Japanische Bezeichnung: 真空蒸着

Fachgebiet: Abscheidung (CVD und PVD)

Verwandte Begriffe

ALD (Atomlagenabscheidung) CVD (chemische Gasphasenabscheidung) Elektrostatischer Chuck Flächenselektive Abscheidung (Area-Selective Deposition) Galvanische Abscheidung (Electroplating) HDP-CVD (Hochdichteplasma-CVD) Kantenbedeckung (Step Coverage) LPCVD (Niederdruck-CVD) Magnetron-Sputtern PECVD (plasmaunterstützte CVD)

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