Was ist Kantenbedeckung (Step Coverage)?

Ein Maß dafür, wie gleichmäßig eine Schicht Seitenwände und Böden von Stufen und Löchern im Vergleich zu ebenen Flächen bedeckt. ALD liefert eine hervorragende Kantenbedeckung.

Japanische Bezeichnung: ステップカバレッジ

Fachgebiet: Abscheidung (CVD und PVD)

Verwandte Begriffe

ALD (Atomlagenabscheidung) CVD (chemische Gasphasenabscheidung) Elektrostatischer Chuck Flächenselektive Abscheidung (Area-Selective Deposition) Galvanische Abscheidung (Electroplating) HDP-CVD (Hochdichteplasma-CVD) LPCVD (Niederdruck-CVD) Magnetron-Sputtern PECVD (plasmaunterstützte CVD) Reaktives Sputtern

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