Was ist Elektrostatischer Chuck?

Mechanismus, der den Wafer durch elektrostatische Kraft auf seinem Tisch hält. Er funktioniert im Vakuum und erlaubt Rückseitengas zur Temperaturregelung; er wird in Abscheide- und Ätzanlagen breit eingesetzt.

Japanische Bezeichnung: 静電チャック

Fachgebiet: Abscheidung (CVD und PVD)

Verwandte Begriffe

ALD (Atomlagenabscheidung) CVD (chemische Gasphasenabscheidung) Flächenselektive Abscheidung (Area-Selective Deposition) Galvanische Abscheidung (Electroplating) HDP-CVD (Hochdichteplasma-CVD) Kantenbedeckung (Step Coverage) LPCVD (Niederdruck-CVD) Magnetron-Sputtern PECVD (plasmaunterstützte CVD) Reaktives Sputtern

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