Was ist Thermische Oxidation?
Ein Verfahren, bei dem durch Erhitzen in Sauerstoff oder Wasserdampf eine SiO2-Schicht auf Silizium entsteht. Es gibt trockene und feuchte Oxidation.
Japanische Bezeichnung: 熱酸化
Fachgebiet: Oxidation und Diffusion
Verwandte Begriffe
Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung)