Was ist Defektinspektionssystem?
Anlage, die Partikel und Strukturdefekte auf Wafern findet, etwa durch Erfassen von Streulicht oder durch Vergleich der Bilder benachbarter Dies.
Japanische Bezeichnung: 欠陥検査装置
Fachgebiet: Messtechnik und Analyse
Verwandte Begriffe
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