Was ist Ellipsometrie (ellipsometry)?

Messverfahren, bei dem polarisiertes Licht auf eine Probe fällt und aus der Änderung der Polarisation bei der Reflexion Dicke und Brechungsindex dünner Schichten bestimmt werden. Es ist zerstörungsfrei.

Japanische Bezeichnung: エリプソメトリ

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) Vierspitzenmethode (four-point probe method)

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