Was ist TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse)?

Analyseverfahren, bei dem Röntgenstrahlen unter streifendem Winkel einfallen und total reflektiert werden; die Fluoreszenzstrahlung von Spurenmetallverunreinigungen auf der Waferoberfläche wird dann empfindlich gemessen.

Japanische Bezeichnung: TXRF(全反射蛍光X線分析)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

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