Was ist REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM)?

Mikroskop, das einen fein fokussierten Elektronenstrahl über eine Probe rastert und Sekundärelektronen und andere Signale erfasst, um die Oberfläche abzubilden. Es löst Strukturen von wenigen Nanometern auf, weit mehr als optische Mikroskope.

Japanische Bezeichnung: SEM(走査電子顕微鏡)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Vergleiche mit diesem Begriff

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) Vierspitzenmethode (four-point probe method)

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