Mikroskop, das eine scharfe Spitze über eine Probe führt und aus den Kräften zwischen Spitze und Oberfläche feine Oberflächentopografie misst. Es dient z. B. zur Bewertung der Oberflächenrauheit.
Japanische Bezeichnung: AFM(原子間力顕微鏡)
Fachgebiet: Messtechnik und Analyse
CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) Vierspitzenmethode (four-point probe method)