Was ist SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie)?

Ein Verfahren, bei dem eine Probe mit Primärionen zerstäubt und die Sekundärionen massenspektrometrisch analysiert werden, um Dotierprofile über die Tiefe hochempfindlich zu messen.

Japanische Bezeichnung: SIMS(二次イオン質量分析法)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

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