Was ist Stufenfluss-Wachstum (Step-Flow Growth)?

Wachstumsmodus, bei dem sich der Kristall von atomaren Stufen auf einem leicht fehlorientierten Substrat seitlich ausdehnt. Bei SiC sorgt er dafür, dass die Schicht den Polytyp des Substrats übernimmt.

Japanische Bezeichnung: ステップフロー成長

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO)

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