Was ist Kritische Schichtdicke?

Maximale Dicke, bis zu der eine gitterfehlangepasste Schicht verspannt wachsen kann, ohne Versetzungen zu bilden. Darüber entstehen Fehlpassungsversetzungen.

Japanische Bezeichnung: 臨界膜厚

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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