Was ist Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation)?

Versetzung an der Grenzfläche zwischen Kristallen mit unterschiedlicher Gitterkonstante, die Verspannung abbaut. Sie entsteht, wenn die aufgewachsene Schicht die kritische Dicke überschreitet.

Japanische Bezeichnung: ミスフィット転位

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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