Was ist Durchstoßversetzung (Threading Dislocation)?

Versetzung, die durch die aufgewachsene Schicht bis zur Oberfläche verläuft. GaN auf Saphir oder Silizium hat hohe Dichten (etwa 10⁸-10⁹ cm⁻²), die Leistung und Zuverlässigkeit der Bauelemente verschlechtern.

Japanische Bezeichnung: 貫通転位

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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