Was ist Gitterfehlanpassung?

Ein Unterschied im Atomabstand (Gitterkonstante) zwischen aufgewachsener Schicht und Substrat. Eine große Fehlanpassung verursacht Verspannung und Defekte wie Versetzungen.

Japanische Bezeichnung: 格子不整合

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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