ステップフロー成長란?

すてっぷふろーせいちょう

結晶軸からわずかに傾けた基板の表面にある原子ステップから、横方向に結晶が広がる成長様式。SiCでは基板と同じ結晶多形を引き継ぐために使われる。

일본어 명칭: ステップフロー成長

분야: 에피택셜 성장