從略微偏離晶軸的基板表面上的原子階梯開始,晶體朝橫向擴展的成長模式。在SiC中用來繼承與基板相同的晶體多型。
日文名稱: ステップフロー成長
這個名詞所屬的領域: 磊晶成長
4H-SiC 自摻雜 異質磊晶 貫穿差排 晶格不匹配 超晶格 磊晶成長 橫向磊晶成長(ELO) 選擇性磊晶成長 錯配差排
前往名詞解釋列表