Was ist Heteroepitaxie?

Das Aufwachsen einer einkristallinen Schicht aus einem vom Substrat verschiedenen Material, etwa SiGe auf Silizium oder GaN auf Saphir. Das Wachstum desselben Materials heißt Homoepitaxie.

Japanische Bezeichnung: ヘテロエピタキシー

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum