Was ist Autodotierung?

Unbeabsichtigter Einbau von Dotierstoff aus dem Substrat oder anderswoher über die Gasphase in eine wachsende Epitaxieschicht. Sie ist ein Problem beim Wachsen schwach dotierter Schichten auf stark dotierten Substraten.

Japanische Bezeichnung: オートドーピング

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Epitaxie (epitaktisches Wachstum) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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