Was ist Festkörperlöslichkeit?

Maximale Konzentration einer Störstelle, die sich bei gegebener Temperatur im Kristall lösen kann. Sie setzt die Obergrenze der elektrisch aktiven Dotierstoffkonzentration.

Japanische Bezeichnung: 固溶度

Fachgebiet: Ionenimplantation

Verwandte Begriffe

Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite

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