Was ist Laser-Anneal?
Erhitzen nur des oberflächennahen Bereichs eines Wafers für extrem kurze Zeit mit Laserlicht. Es erreicht hohe Aktivierung fast ohne Diffusion.
Japanische Bezeichnung: レーザーアニール
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite