Was ist Implantationsdosis?
Die Zahl der pro Flächeneinheit implantierten Ionen bei der Ionenimplantation, angegeben in cm⁻². Sie wird durch Strahlstrom und Implantationsdauer festgelegt.
Japanische Bezeichnung: ドーズ量
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite