Was ist Abschattung (Shadowing)?
Bei schräger Implantation der Effekt, dass hohe Strukturen wie Resist Schatten werfen, sodass manche Bereiche keine Implantation erhalten.
Japanische Bezeichnung: シャドウイング
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite