Was ist Halo-Implantation (Pocket-Implantation)?

Schräge Implantation von Dotierstoff desselben Typs wie der Kanal nahe den Source- und Drain-Rändern. Sie begrenzt die Ausdehnung der Drain-Verarmungszone und unterdrückt Kurzkanaleffekte.

Japanische Bezeichnung: ハロー注入(ポケット注入)