Was ist Faraday-Becher (Faraday Cup)?
Vorrichtung, die einen Ionenstrahl auffängt und den entstehenden Strom misst. In Ionenimplantern dient sie zur Bestimmung der implantierten Dosis.
Japanische Bezeichnung: ファラデーカップ
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite