Was ist Ausheilen (Annealing)?
Wärmebehandlung. Wird unter anderem eingesetzt, um nach der Ionenimplantation Kristallschäden zu reparieren und Dotierstoffe zu aktivieren.
Japanische Bezeichnung: アニール
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite