Was ist Self-Bias (Eigenvorspannung)?

Negatives Gleichspannungspotential, das die Waferelektrode in einem kapazitiv gekoppelten Plasma von selbst annimmt. Es beschleunigt positive Ionen zum Wafer und unterstützt anisotropes Ätzen.

Japanische Bezeichnung: セルフバイアス

Fachgebiet: Ätzen

Verwandte Begriffe

ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)

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