Was ist Seasoning (Konditionierung)?

Durchlauf von Dummy-Wafern vor dem Produkt, um den Zustand der Wände einer Ätzkammer (o. Ä.) zu stabilisieren, da Änderungen der Wände die Prozessergebnisse verändern.

Japanische Bezeichnung: シーズニング

Fachgebiet: Ätzen

Verwandte Begriffe

ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)

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