Was ist STI (Shallow-Trench-Isolation)?

Isolation von Bauelementen durch Ätzen flacher Gräben ins Silizium, Füllen mit Isolator und Planarisieren per CMP. Anders als LOCOS hat sie keinen Vogelschnabel und ist die Standardisolation für ICs mit feinem Rastermaß.

Japanische Bezeichnung: STI(シャロートレンチ分離)

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung)

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