Was ist Voramorphisierungs-Implantation (PAI)?

Zuerst wird z. B. Germanium implantiert, um die Oberfläche amorph zu machen, sodass die folgende Implantation kein Channeling zeigt und ein flacher Übergang entsteht.

Japanische Bezeichnung: プリアモルファス化注入(PAI)

Fachgebiet: Ionenimplantation

Verwandte Begriffe

Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping)

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