プリアモルファス化注入(PAI)란?
ぷりあもるふぁすかちゅうにゅう
ゲルマニウムなどを先に注入して表面をアモルファス化し、その後の注入でのチャネリングを抑えて浅い接合を得る方法。
일본어 명칭: プリアモルファス化注入(PAI)
분야: 이온 주입
관련 용어
固溶度 過渡増速拡散(TED) 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入)
ぷりあもるふぁすかちゅうにゅう
ゲルマニウムなどを先に注入して表面をアモルファス化し、その後の注入でのチャネリングを抑えて浅い接合を得る方法。
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