酸窒化膜(SiON)란?
さんちっかまく
ゲート酸化膜に窒素を導入した膜。ゲート電極からのボロンの突き抜けを抑え、誘電率もわずかに高くなるため、High-k膜の導入前のゲート絶縁膜に使われた。
일본어 명칭: 酸窒化膜(SiON)
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化
さんちっかまく
ゲート酸化膜に窒素を導入した膜。ゲート電極からのボロンの突き抜けを抑え、誘電率もわずかに高くなるため、High-k膜の導入前のゲート絶縁膜に使われた。
일본어 명칭: 酸窒化膜(SiON)
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化