Was ist Überätzen (Overetch)?

Weiterätzen für eine festgelegte Zeit nach dem Endpunkt, damit die Schicht überall auf dem Wafer entfernt wird. Es erfolgt unter Bedingungen mit hoher Selektivität zur darunterliegenden Schicht.

Japanische Bezeichnung: オーバーエッチング

Fachgebiet: Ätzen

Verwandte Begriffe

ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)

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