格子不整合란?
こうしふせいごう
成長させる膜と基板の結晶の原子の間隔(格子定数)が異なること。大きいとひずみや転位などの欠陥が生じる。
일본어 명칭: 格子不整合
분야: 에피택셜 성장
こうしふせいごう
成長させる膜と基板の結晶の原子の間隔(格子定数)が異なること。大きいとひずみや転位などの欠陥が生じる。
일본어 명칭: 格子不整合
분야: 에피택셜 성장
4H-SiC 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 積層欠陥 超格子 横方向エピタキシャル成長(ELO) HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)