レーザーアニール란?

れーざーあにーる

レーザー光でウエハの表面付近だけを極めて短い時間加熱する熱処理。拡散をほとんど起こさずに高い活性化が得られる。

일본어 명칭: レーザーアニール

분야: 이온 주입