Was ist Isotropes Ätzen?
Ätzen, das vertikal und seitlich mit gleicher Rate fortschreitet. Es unterätzt die Maske (Unterätzung).
Japanische Bezeichnung: 等方性エッチング
Fachgebiet: Ätzen
Vergleiche mit diesem Begriff
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)