エピタキシャル成長란?
えぴたきしゃるせいちょう
単結晶基板の上に、基板の結晶方位をそろえて単結晶の薄膜を成長させる技術。
일본어 명칭: エピタキシャル成長
분야: 에피택셜 성장
えぴたきしゃるせいちょう
単結晶基板の上に、基板の結晶方位をそろえて単結晶の薄膜を成長させる技術。
일본어 명칭: エピタキシャル成長
분야: 에피택셜 성장
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 積層欠陥 超格子 横方向エピタキシャル成長(ELO) HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー)