Was ist Trockenätzen?
Materialabtrag mit Plasma oder Gas statt flüssiger Chemikalien. Durch Ionenbeschuss ist anisotropes Ätzen möglich, das für feine Muster unverzichtbar ist.
Japanische Bezeichnung: ドライエッチング
Fachgebiet: Ätzen
Vergleiche mit diesem Begriff
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)