オートドーピング란?

おーとどーぴんぐ

エピタキシャル成長中に、基板などの不純物が気相を通じて成長層に取り込まれてしまう現象。高濃度の基板の上に低濃度の層を成長させるときに問題になる。

일본어 명칭: オートドーピング

분야: 에피택셜 성장