Reinräume und Anlagen
Lernen Sie anhand von Multiple-Choice-Fragen die Grundlagen von Fab-Umgebung und Anlagen kennen – Reinraumklassen, Gelbräume und FOUPs.
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Die Fragen zu diesem Thema folgen in Kürze.
Reinräume und Anlagen: Das Wichtigste
In der Halbleiterfertigung können schon winzige Partikel Defekte verursachen, daher wird in Reinräumen gearbeitet, in denen die Zahl der Schwebeteilchen in der Luft extrem niedrig gehalten wird. Die Reinheit wird als Anzahl der Partikel in einem bestimmten Luftvolumen angegeben.
In 300-mm-Fabs werden Wafer automatisch in geschlossenen Behältern, den sogenannten FOUPs, transportiert, und üblich ist es, nur das Innere der Anlagen auf sehr hoher Reinheit zu halten.