Welches automatische Lager in einem automatischen Transportsystem einer Halbleiterfabrik lagert FOUPs vorübergehend bis zum nächsten Prozessschritt?

Antwort: A. Stocker

Ein Stocker ist ein automatisches Lager mit Regalen, in denen Roboter FOUPs ein- und auslagern; es lagert z. B. FOUPs vorübergehend, die auf eine freie Anlage warten. Sein Inneres ist mit sauberer Luft oder Stickstoff gefüllt, er ist an Transportsysteme wie das OHT angebunden und gibt auf Anweisung des Produktionsleitsystems die benötigten FOUPs aus. In letzter Zeit werden auch kleine Lagerregale verwendet, die den Deckenraum nutzen und FOUPs neben den Schienen ablegen.