Reinraum und Fertigungsanlagen

Welches System transportiert in einer Fabrik für 300-mm-Wafer die FOUPs automatisch entlang von Deckenschienen zwischen den Anlagen?

  1. AEin von Hand geschobener Transportwagen
  2. BEin Transport allein über Förderbänder
  3. COHT (Overhead Hoist Transport, deckengeführtes fahrerloses Transportfahrzeug)
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Antwort: C. OHT (Overhead Hoist Transport, deckengeführtes fahrerloses Transportfahrzeug)

Ein mit 25 Wafern von 300 mm beladener FOUP wiegt etwa 8 kg; der Transport von Hand ist daher belastend und birgt Risiken durch Partikelerzeugung und Herunterfallen. Das OHT ist ein auf Deckenschienen fahrendes Transportfahrzeug, das den FOUP hängend automatisch zum Load Port der Anlage bringt und den Bodenbereich für Arbeit und Anlagen freihält. Es ist die zentrale Einrichtung des automatischen Materialtransportsystems (AMHS) der Fabrik; in großen Fabriken fahren mehrere hundert Fahrzeuge oder mehr.

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