Was ist Molekulare Kontamination in der Luft (AMC)?

Gasförmige Verunreinigungen in der Luft wie Säuren, Laugen und organische Stoffe. Partikelfilter entfernen sie nicht, daher werden chemische Filter eingesetzt.

Japanische Bezeichnung: 分子状汚染(AMC)

Fachgebiet: Reinräume und Anlagen

Verwandte Begriffe

EFEM (Equipment Front End Module) FFU (Ventilator-Filter-Einheit) FOUP HEPA-Filter ISO 14644-1 Mini-Environment (Minienvironment) OHT (Deckentransportsystem) ULPA-Filter Vertikalströmung (downflow)

Zurück zum Glossar