Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Aussage zum in Halbleiterfabriken üblichen Anlagenlayout ist richtig?

  1. AWie in einer Automobilfabrik wird ausschließlich eine geradlinige Anordnung der Anlagen in Prozessreihenfolge verwendet
  2. BEin Job-Shop-Layout, bei dem Anlagen gleicher Art in Bays (Bereichen) zusammengefasst und durch ein Transportsystem verbunden werden
  3. CJede Anlage steht in einem eigenen Gebäude
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Antwort: B. Ein Job-Shop-Layout, bei dem Anlagen gleicher Art in Bays (Bereichen) zusammengefasst und durch ein Transportsystem verbunden werden

In der Halbleiterfertigung werden Schichtabscheidung, Lithografie, Ätzen usw. dutzendfach wiederholt, sodass die Wafer dieselben Anlagen mehrfach durchlaufen. Bei geradliniger Anordnung in Prozessreihenfolge müssten dieselben Anlagen dutzendfach vorhanden sein; üblich ist daher ein Job-Shop-Layout, bei dem Anlagen gleicher Art in Bays zusammengefasst und durch ein automatisches Transportsystem verbunden werden. Anlagen werden nicht einzeln in getrennten Gebäuden aufgestellt.

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